坐标测量显微镜的特点是高精度（到达μm级）、率（数十、数百倍于古代测量手段）、性（可代替多种长度计量仪器）。于是多用于产品测绘、复杂型面检验、工夹具测量，研制历程当中间测量，CNC机床或柔性生产线在线测量等方面；只要坐标测量显微镜的测头能够瞄准（或感觉）到的地方（接触法或非接触法均可），就可测出它们的几何尺寸和互相位置关系，并借助于计算机实现数据处分。这种维测量技巧具有极大的性。同时可利便地举行数据处分与历程控制。于是不仅在精密检验和产品品质控制上扮演偏重要角，同时在计划和生产历程控制、模具生产方面发挥着越来越重要的作用，并在汽车工业、航空航天、机床对象、国防工、电子和模具等平台得到宽泛使用。 　　 　　古代测量技术坐标测量技术 　　 　　对工件要举行人工的精确及时的调解不需对工件要举行分外调解 　　 　　专用显微镜和多工位测量非常难适应测量使命的转变简单的挪用所对应的软件实现测量使命 　　 　　与实体规范可运动规范举行测量相对与数学或数字模子举行测量相对 　　 　　尺寸、样式和位置测量在差别的仪器长举行尺寸、样式和位置的评定在次安装中即可实现 　　 　　不相干的测量数据产生完整的数字消息，实现报告输出 　　 　　手工纪录测量数据统计分析和CAD计划